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项目 |
HD-U3020G |
HD-U4030G |
HD-U5040G |
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测量行程(mm) |
300*200*200 |
400*300*200 |
500*400*200 |
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外形尺寸(mm) |
1300*920*1600 |
1400*1020*1600 |
1500*1120*1600 |
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仪器重量(Kg) |
440 |
520 |
600 |
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测量精度(μm) |
E(x,Y):1.7+L/200 E(Z):5+L/200 (L单位mm) |
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重复精度(μm) |
3 |
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玻璃承载(Kg) |
30 |
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放大倍率 |
0.7~4.5X高清晰卡位变倍镜头,影像放大34~220X |
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光栅尺分辨率 |
0.1μm |
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CCD |
进口高清晰彩色摄像机 |
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传动方式 |
THK精密直线导轨+研磨滚珠丝杆 |
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运动控制 |
松下伺服电机 |
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面光源 |
5环40区表面环形LED冷光源,亮度可调 |
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轮廓光源 |
平行光路设计,无极连续可调LED冷光源 |
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测量软件 |
自动测量软件 |
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操作方式 |
程序控制+摇杆 |
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工作环境 |
温度:20℃±2℃,湿度30-80%,远离振动:<0.002g,低于15Hz |
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电源 |
单相AC 220V/50Hz/10A |
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13544641555